發(fā)布時間：2024-07-10
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| 參數(shù)名稱 | 參數(shù)值 |
|---|---|
| 真空吸附卡盤 | 6英寸 |
| 樣品臺位移精度 | <10μm |
| 探針座位移精度 | ＜3μm |
| 漏電流精度 | ＜10pA |
| 探針座數(shù)量 | 3個 |
| 交付地點 | 上海某前沿科創(chuàng)企業(yè) |
| 交付時間 | 2024年7月 |
| 交付產(chǎn)品 | 標準型基礎測試探針臺 |
| 商城詳情 | 譜量商城——標準型基礎測試探針臺 |
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